Mikro- und Nanoelektronik
Dieser Fachbereich wird von folgenden Professuren besetzt:
- Integrierte Analogschaltungen, Prof. Heinen
- Theoretische Elektrotechnik, Prof. Jungemann
- Halbleitertechnik, Prof. Knoch
- Integrierte Photonik, Prof. Witzens
- Werkstoffe der Elektrotechnik 1, Prof. Mokwa
- Allgemeine Elektrotechnik und Datenverarbeitungssysteme, Prof. Noll
- GaN-Bauelementtechnologie, Prof. Vescan
- Werkstoffe der Elektrotechnik 2, Prof. Waser
- Photovoltaik (Prof. Rau, FZ Jülich)
Angegliedert an die Aktivitäten ist das Advanced Microelectronic Center Aachen (AMICA). Enge Verbindungen bestehen im Bereich der Materialforschung u.a. zur Fachgruppe Physik und auch über die Jülich-Aachen-Research-Alliance (JARA) zum Forschungszentrum Jülich.
Die Mikro- und Nanoelektronik ist eine der Schlüsseltechnologien für die moderne Industrie- und Wissensgesellschaft. Im Wesentlichen geht es in diesem Forschungsbereich um die Entwicklung neuer Fertigungsverfahren und leistungsfähigerer elektronischer Materialien und Bauelemente. Mehr Informationen du diesem Forschungsschwerpunkt finden Sie unten.
Forschungsschwerpunkt Mikro- und Nanoelektronik
Hier finden Sie Details zum Forschungsschwerpunkt Mikro- und Nanoelektronik.
Kleinste elektronische Schaltungen werden hier konzipiert und in modernsten Laboren realisiert. Höchstauflösende Lithographie, diverse Abscheide- und Ätztechniken, Laserspektroskopie im Femto-Sekunden-Bereich u.a.m. gehören zum Repertoire der angewandten Methoden.
Bei der Herstellung von Bauelementen liegt das Interesse z.B. auf der Integration der Optoelektronik in die klassische Siliziumtechnologie und auf der Entwicklung von neuartigen Oxiden, Polymeren und magnetischen Filmen zur Realisierung neuartiger, hocheffizienter Datenspeicher. Ein weiteres Anwendungsgebiet ist die Herstellung von keramischen Nanobauteilen für Sensorn und Aktoren in der Mechatronik.
Intensive Forschungsaktivitäten beziehen sich auf das Gebiet der III-V-Halbleiter-Bauelemente (Z.B. GaN), auf die Integration von Komponenten und Systeme in Hochfrequenzschaltkreisen mit Frequenzen bis zu 100 GHz sowie auf den Entwurf höchstintegrierter VLSI-CMOS Schaltkreise. Ein noch recht junges Forschungsgebiet ist die Entwicklung von organischen Leuchtdioden (OLED) mit verbesserten Leistungsdaten und einer guten Lebensdauer.