Studentische Hilfskraft

EUV-Scatterometrie für die Halbleiterindustrie

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M. Sc. Lukas Bahrenberg

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Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme

Unser Profil

Die Forschungsgruppe EUV-Technologie am Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme TOS der RWTH Aachen arbeitet in enger Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Lasertechnik ILT an der Entwicklung von messtechnischen und lithographischen Anwendungen im Umfeld der industriellen Halbleiterfertigung.
Im Zuge der stetigen Verkleinerung der Strukturabmessungen in der Halbleiterindustrie wachsen die Anforderungen an die benötigte Messtechnik. Eine Weiterentwicklung optisch-messtechnischer Verfahren hin zu kleineren Wellenlängen vollzieht sich dabei ebenso. Die Gruppe EUV-Technologie befasst sich daher mit neuartigen Ansätzen der Lithografie, Spektroskopie und Materialmodifikation unter Verwendung von extrem ultravioletter (EUV-) Strahlung im Wellenlängenbereich von 10 bis 50 nm.

Ihr Profil

Studentin oder Student der Physik und möchtest unser Team engagiert unterstützen. Du arbeitest selbständig, sorgfältig und zielorientiert und fügst dich gut in ein junges und dynamisches Team ein.

Ihre Aufgaben

Die Charakterisierung nanoskaliger Strukturen stellt in der Halbleiterindustrie eine der wichtigsten Aufgaben dar. Durch EUV-Scatterometrie, das heißt die Analyse des Beugungsmusters einer strukturierten Oberfläche, soll die die Geometrie von Oberflächen modellgestützt charakterisiert werden.
Konkrete Tätigkeiten sollen beinhalten:

- Durchführung von Messreihen an nanoskaligen Halbleiterstrukturen für verschiedene Industrie- und Forschungsprojekte
- Analyse der Messergebnisse und modellgestützte Rekonstruktion der Probeneigenschaften
- Anpassung der Modelle basierend auf Messergebnissen neuartiger nanoskaliger Proben

Unser Angebot

Die Stelle ist zum nächstmöglichen Zeitpunkt zu besetzen und befristet auf zunächst 6 Monate mit Option auf Verlängerung.
Die regelmäßige Wochenarbeitszeit beträgt 15 Stunden.
Die Eingruppierung richtet sich nach der Richtlinie für studentische und wissenschaftliche Hilfskräfte.

Die RWTH ist als familiengerechte Hochschule zertifiziert.
Die Stellenausschreibung richtet sich an alle Geschlechter.
Wir wollen an der RWTH Aachen University besonders die Karrieren von Frauen fördern und freuen uns daher über Bewerberinnen.
Frauen werden bei gleicher Eignung, Befähigung und fachlicher Leistung bevorzugt berücksichtigt, sofern sie in der Organisationseinheit unterrepräsentiert sind und sofern nicht in der Person eines Mitbewerbers liegende Gründe überwiegen.
Bewerbungen geeigneter schwerbehinderter Menschen sind ausdrücklich erwünscht.
Informationen zur Erhebung personenbezogener Daten nach Artikeln 13 und 14 Datenschutz-Grundverordnung (DS-GVO) finden Sie unter http://www.rwth-aachen.de/dsgvo-information-bewerbung

Bewerbung
Nummer:29872
Postalisch:M. Sc. Lukas Bahrenberg
Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme
Steinbachstrasse 15
52074 Aachen