Wissenschaftliche/r Mitarbeiter/in (w/m/d) im Bereich der EUV-Interferenzlithografie und Nanofabrikation

Grundlagenforschung für die Mikrochips von morgen

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Sascha Brose

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02418908434

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Lehrstuhl für Technologie optischer Systeme

Unser Profil

Die RWTH Aachen University ist mit ca. 47.000 Studierenden und ca. 10.000 Beschäftigten eine der renommiertesten Technischen Universitäten Europas. Der Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme TOS ist innerhalb der Fakultät für Maschinenwesen angesiedelt und betreibt in enger Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Photonik. Die zentrale Aufgabe des Lehrstuhls ist die Erforschung von Technologien zur Führung und Formung von Licht und der Transfer dieser Technologien in industrielle Anwendungen. Die Forschungsschwerpunkte liegen bei optischen Systemen für die Produktionstechnik, Computational Optics und den Technologien für die extrem-ultraviolette (EUV) Strahlung.

Die Gruppe EUV-Technologie arbeitet an der Entwicklung von messtechnischen und lithographischen Anwendungen mit Fokus auf der industriellen Halbleiterfertigung. Unter Verwendung von kompakten EUV-Strahlungsquellen liegt die Expertise sowohl im Sonderanlagenbau als auch in der Grundlagenforschung zu Wechselwirkungsprozessen von EUV-Strahlung mit Materie.

Die Arbeit am Lehrstuhl zeichnet sich durch eine offene und vertrauensvolle Atmosphäre sowie flache Hierarchien aus und wird durch Teambuilding-Events und gemeinsame Freizeitaktivitäten ergänzt. Zusätzlich werden eine flexible Arbeitszeitgestaltung ermöglicht und über die RWTH Aachen University attraktive Angebote wie ein Jobticket oder ein breites Sportprogramm geboten. Werden Sie Teil unseres dynamischen und hochmotivierten Teams und tragen Sie mit der Schlüsseltechnologie Photonik zur Bewältigung gesellschaftlicher Herausforderungen, wie der Mobilität, Digitalisierung, Energiewende, Konnektivität und Gesundheit bei.

Ihr Profil

Diese Ausschreibung richtet sich an Absolvent:innen eines Hochschulstudiums (Master oder vergleichbar) im Bereich der Ingenieur- oder Naturwissenschaften. Sie sind interessiert an der Bearbeitung von wissenschaftlichen Fragestellungen und haben eine hohe Bereitschaft zur interdisziplinären Arbeit. Sie arbeiten gerne im Team und verfügen über einen eigenständigen, organisierten Arbeitsstil. Zudem verfügen Sie über gute Kenntnisse der deutschen und englischen Sprache. Vorkenntnisse in einigen der folgenden Gebiete sind von Vorteil:

- Mikro- und Nanofabrikation, insbesondere Verwendung von Beschichtungs-, Lithografie- und Ätzprozessen

- Arbeiten in einer Reinraumumgebung

- Optische Technologien, z.B. Design optischer Systeme

- Entwicklung und Nutzung von Simulationsprogrammen (z.B.: auf Basis von FEM, RCWA, etc.)

- (Automatisierte) Datenauswertung (z.B. Python, Matlab, C++ o.Ä.)

- Praktische Arbeiten im Bereich der Vakuumtechnik

Ihre Aufgaben

Die Fortschritte in der Digitalisierung z.B. in Kommunikation oder dem autonomen Fahren basieren nicht zuletzt auf der Entwicklung von immer kompakteren und leistungsfähigeren Rechnern. Eine Schlüssel-Technologie für den Fortbestand dieser Entwicklung ist die EUV-Technologie, mit welcher in der Halbleiterindustrie die aktuellen und zukünftigen Generationen von Mikroprozessoren hergestellt werden.

Als universitäre Einrichtung werden am Lehrstuhl TOS die umfassenden Grundlagen, die für die Weiterentwicklung der EUV-Technologie von Interesse sind, wie optische Systeme für EUV, lithographische Verfahren, EUV-Material-Wechselwirkung und die Messtechnik für nanoskalige Strukturen erforscht. Im Bereich der EUV-Interferenzlithografie werden hierbei innovative Verfahren zur Herstellung von nanoskaligen Strukturen für zahlreiche Anwendungen entwickelt, beispielsweise die Herstellung von Metaoberflächen, Quantenpunkten oder die Qualifizierung von EUV-Photoresists für die Halbleiterindustrie. Die wissenschaftlichen Aufgaben sind dabei breit gefasst und beinhalten unter Anderem:

- Herstellung nanoskaliger Strukturen mittels verschiedener Beschichtungsprozesse, Elektronenstrahllithografie und Ätzverfahren in einem Großreinraum

- Verwendung, Betreuung und Weiterentwicklung von experimentellen Aufbauten im Bereich der EUV-Lithografie zur Erzeugung nanoskaliger Strukturanordnungen, inkl. der optischen Systeme, Vakuumtechnologie und nasschemischen Bearbeitung der belichteten Proben

-Analyse nanoskaliger Strukturen mittels verschiedenster Analyseverfahren (AFM, SEM, Ellipsometrie)

- Erforschung naturwissenschaftlicher Fragestellungen theoretischer Natur inkl. Entwicklung und Nutzung von spezialisierten Ansätzen zur wellenoptischen Simulation von Beugungsgittern, Vergleich mit experimentellen Ergebnissen

Neben den Forschungsfragen zählen weiterhin zu Ihren Aufgaben:

- Leitung und Bearbeitung von Forschungs- und Entwicklungsprojekten mit Industrie- oder öffentlicher Finanzierung

- Betreuung von Bachelor- und Masterarbeiten sowie studentischen Hilfskräften

- Präsentation Ihrer Arbeiten und Ergebnisse bei Symposien, Workshops, auf Fachkonferenzen und bei Industriepartnern

Unser Angebot

Die Einstellung erfolgt im Beschäftigtenverhältnis.
Die Stelle ist zum nächstmöglichen Zeitpunkt zu besetzen und befristet auf 12 Monate.
Eine Weiterbeschäftigung von mindestens 2 Jahren ist vorgesehen.
Die befristete Beschäftigung erfolgt im Rahmen der Befristungsmöglichkeiten des Wissenschaftszeitvertragsgesetzes.
Es handelt sich um eine Vollzeitstelle. Auf Wunsch kann eine Teilzeitbeschäftigung ermöglicht werden.
Eine Promotionsmöglichkeit besteht.
Die Eingruppierung richtet sich nach dem TV-L.
Die Stelle ist bewertet mit EG 13 TV-L.

Über uns

Die RWTH ist als familiengerechte Hochschule zertifiziert.
Die RWTH bietet im Rahmen eines Universitären Gesundheitsmanagements eine Vielzahl von Gesundheits-, Beratungs- und Präventionsangeboten (z. B. Hochschulsport) an. Für Tarifbeschäftigte und Beamtinnen und Beamte besteht ein umfangreiches Weiterbildungsangebot und die Möglichkeit, ein Jobticket zu erwerben.
Die Stellenausschreibung richtet sich an alle Geschlechter.
Wir wollen an der RWTH Aachen University besonders die Karrieren von Frauen fördern und freuen uns daher über Bewerberinnen.
Frauen werden bei gleicher Eignung, Befähigung und fachlicher Leistung bevorzugt berücksichtigt, sofern sie in der Organisationseinheit unterrepräsentiert sind und sofern nicht in der Person eines Mitbewerbers liegende Gründe überwiegen.
Bewerbungen geeigneter schwerbehinderter Menschen sind ausdrücklich erwünscht.
Im Sinne der Gleichbehandlung bitten wir Sie, auf ein Bewerbungsfoto zu verzichten.
Informationen zur Erhebung personenbezogener Daten nach Artikeln 13 und 14 Datenschutz-Grundverordnung (DS-GVO) finden Sie unter https://www.rwth-aachen.de/dsgvo-information-bewerbung.

Bewerbung
Nummer:V000003860
Frist:28.02.2023
Postalisch:RWTH Aachen University
Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme
Dr. Sascha Brose
Steinbachstr. 15
52074 Aachen
E-Mail:
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